Βάση διεργασίας πυριτίου
Αυτή η βάση διεργασίας πυριτίου έχει σχεδιαστεί σχολαστικά για να λειτουργεί ως ασταθερή πλατφόρμα παραγωγήςγια προηγμένη ενσωμάτωση ηλεκτρονικών συσκευών. Υποστήριξη ολόκληρου του φάσματος από2 ιντσών (50 mm) έως 12 ιντσών (300 mm), αυτές οι βάσεις έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν μια-διασύνδεση υψηλής πιστότητας ικανή να αντέξει την πιο έντονηθερμικά και μηχανικά βήματαχωρίς να διακυβεύεται η δομική ή ηλεκτρική ακεραιότητα.
Ασυμβίβαστη δομική ακεραιότητα:Η βάση έχει σχεδιαστεί για ναδιατηρεί την ακεραιότητά του κατά την κατασκευή, αντιστέκεται σε μικρο-στρέβλωση και ολίσθηση πλέγματος ακόμη και κατά τη διάχυση σε υψηλές-θερμοκρασίες και την ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP). Αυτή η δομική ανθεκτικότητα διασφαλίζει ότι οι ευθυγραμμίσεις πολλαπλών{3}}στρωμάτων παραμένουν ακριβείς, κάτι που είναι κρίσιμο για την ανάπτυξη λογικής υψηλής-πυκνότητας καιPower IC (IGBT/MOSFET)αρχιτεκτονικές.
Ελαχιστοποιημένη παραλλαγή διαδικασίας:Η αξιόπιστη συμπεριφορά υλικών είναι ο ακρογωνιαίος λίθος της κατασκευής υψηλής-απόδοσης. Διατηρώντας ένα εξαιρετικά ομοιόμορφο προφίλ ακτινικής ειδικής αντίστασης και ελαχιστοποιώντας τις ενδιάμεσες ακαθαρσίες, η διεργασία μας βασίζεταιμειώστε την απροσδόκητη διακύμανσησε ρυθμούς χαρακτικής και λεπτής-απόθεσης φιλμ. Αυτή η συνέπεια επιτρέπει ένα πιο προβλέψιμο παράθυρο διαδικασίας σε διάφορες παρτίδες παραγωγής.
Συμβατότητα με σύνθετες διαδρομές:Προσαρμοσμένο γιασύνθετες διαδρομές επεξεργασίας, η βάση λειτουργεί απρόσκοπτα στα σύγχρονα αυτοματοποιημένα χυτήρια. Η ανώτερη μορφολογία επιφάνειας και το προφίλ άκρων του υποστηρίζουν μακροπρόθεσμη σταθερότητα κατά τη διάρκεια της χημικής-μηχανικής επιπεδοποίησης (CMP) και της εμφύτευσης ιόντων, διασφαλίζοντας ότι τα τελικά εξαρτήματα πληρούν τα πιο αυστηρά πρότυπα αξιοπιστίας στους τομείς της αυτοκινητοβιομηχανίας και της βιομηχανίας.
